・太陽電池用シリコン単結晶インゴット
・ダミー・ターゲット用シリコン単結晶インゴット
・スパッタリング・冶具用シリコン多結晶インゴット
原材料(ポリシリコン)を単結晶シリコンインゴットに加工するために、チョクラルスキー法(CZ法)と呼ばれるインゴット成長法を採用しています。高純度のポリシリコンを石英坩堝の中で溶解させ、ごく微量のホウ素またはリンを添加した後、種結晶を溶液に接触させながら回転させ、ゆっくりと引上げます。こうして長さ約1~1.8m、直径6または8インチの単結晶シリコンインゴットが製造されます。
当社製品
太陽電池用シリコンインゴット
お客様のニーズに合わせたN型及びP型の単結晶インゴットを引き上げています。
テクニカルデータ
太陽電池用シリコン単結晶インゴット
| N型-リン添加 | 5.5”/ 6.5” ライフタイム >100μsec |
|---|---|
| 酸素濃度 | <0.85*E18atoms/cc |
| 炭素濃度 | <3*E16atoms/cc |
| P型-硼素添加 | 6”/ 8” ライフタイム >15μsec |
|---|---|
| 酸素濃度 | <1*E18atoms/cc |
| 炭素濃度 | <3*E16atoms/cc |
ダミー・ターゲット用シリコン単結晶インゴット
| N 型 | 6”/ 8”/ 12” |
|---|---|
| P 型 | 4”/ 5”/ 6”/ 8”/ 12” |
