まず二酸化ケイ素からなるケイ石などを精錬した後、二酸化ケイ素を還元して、純度98～99%のケイ素を精製します。次に、残りの2%の不純物を除去する化学処理を施し、純度を更に高めます。通常半導体用が99.999999999%（通称イレブンナイン）、ソーラー用が99.99999％（通称セブンナイン）以上といわれています。